合肥工业大学电子科学与应用物理学院导师:许高斌
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合肥工业大学电子科学与应用物理学院导师:许高斌 正文
姓名:许高斌
性别:男
出生年月:1970-12
职称:教授
学院:电子科学与应用物理学院
研究方向:
简历
安徽肥东人,2004年毕业于东南大学6系,获工学博士学位,2010年在中科院半导体研究所从事高级访问研究。现任合肥工业大学电子科学与应用物理学院教授,安徽省MEMS工程技术研究中心主任。近年来在IEEE Sensors Journal, Sensors and Actuators, Journal of Micromechanics and Microengineering, 仪器仪表学报, 半导体学报, 真空与科学技术学报, 中国机械工程, 电子测量与仪器学报等国内外期刊上发表学术论文30余篇,其中SCI收录5篇,EI收录17篇。其主要研究的科研成果已在MEMS 专业设计软件IntenlliSence软件中使用,取得良好的经济效益和社会效益。应邀为APCOT’2008(海峡两岸微米纳米技术研讨会,2008,台湾成功大学)分会主席(Session Chair of Bio Micro-Nano Technology),中国微米纳米技术学会第十一届学术年会(2009,哈尔滨)分会主席,应邀为第十二届全国敏感元件与传感器学术会议程序委员会委员(2012.江苏昆山)。中国微米纳米技术学会高级会员,IEEE Sensors Journal 期刊审稿人。
研究方向
已完成的科研项目:
1. 863计划项目:MEMS加工与封装建模.模拟与IP库,项目编号:2003AA404010。项目完成,通过专家组验收。其科研成果已在MEMS专业设计软件的测试模块中应用。
2. 863计划项目:环境气象检测微系统开发,项目编号:2002AA404540。项目完成,通过专家组验收。
3. 总装备部“十•五”预研计划:用于工艺监控的MEMS测试结构及方法,项目编号:41308.05.02.06。项目完成,通过专家组验收。
4. 安徽省高校省级自然科学研究重点项目:基于MEMS技术CMOS兼容静电型微继电器研究,项目编号:2006KJ026A,2006,01-2008,12,项目主持人。
5. 合肥市重点科技项目计划:便携式微生物总数快速监测仪,2007,11-2008,12,项目主持人。
6. 微电子机械系统教育部重点实验室(东南大学)2006年度开放课题:薄膜热学性能在线测试结构研究,项目编号:2006SEU-MEMS05,项目主持人。
目前在研的科研项目:
1.安徽省自然科学基金:柔性衬底单壁碳纳米管阵列NEMS器件及其在纳米集成电路中的应用研究,项目主持人。
2.中国兵器工业第二一四研究所军工预研基金项目1:硅基MEMS加速度传感器(电容式),项目主持人。已流片成功。
3.中国兵器工业第二一四研究所军工预研基金项目2:高g值MEMS加速度传感器(压阻式),项目主持人。已流片成功。
4.合肥邦立电子有限公司委托研发项目:数字电容式液位传感技术的应用开发,项目主持人。
5.合肥工业大学重大预研专项:车载MEMS传感器关键技术,项目主持人。
6.国家自然科学基金-重大研究计划:基于改性TiO2纳米管阵列器件的构造研究。
7.安徽省科技攻关计划项目:SOI基高性能MEMS传感关键技术研究,项目主持人。
主要研究领域有:
目前主要讲授的课程有:
本科生课程:《半导体器件物理》(安徽省精品课程);
研究生课程:《 MEMS设计与应用》
已毕业硕士研究生11人,目前指导硕士研究生7人,协助指导博士研究生1人。
获奖情况
获奖:
1.2006年度高等学校科学技术奖:自然科学一等奖,项目名称:多晶硅电热微执行器模型.制备与表征,个人证件编号:2006-***。
2.2009年度江苏省科技进步二等奖,项目名称:微机电系统模型.模拟及应用。个人证书编号:2009-*-*-**-**。
专利:
① 授权发明专利:导体薄膜热导率测试装置,发明人:许高斌,黄庆安,专利号:ZL03113386.X。已授权。
② 授权发明专利:数字电容式液位测量传感器,发明人:许高斌,张肖康,陈兴,周革,李一方,专利号: ZL 200910145055.0。已授权。
③ 授权实用新型专利:低阈值电压静电型微继电器,发明人:许高斌,何晓雄,李洋,专利号:ZL2006201654757。已授权。
④ 授权实用新型专利:双栅沟道导电类型可调单壁场效应晶体管,专利号:ZL 2001120248596,发明人:许高斌,陈兴,周琪,王鹏,常永嘉。已授权。
⑤ 授权发明专利:双栅沟道导电类型可调单壁碳纳米管场效应晶体管及制备工艺,发明人:许高斌,陈兴,周琪,王鹏,常永嘉,专利号:ZL 201110197345.7。
⑥ 发明专利申请:不等高梳齿电容式三轴加速度传感器及其制作方法,申请(专利)号: CN201110190985.5,发明人:许高斌。公开(公告)号: CN102401842A
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